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기판 상의 자가조립 단층 또는 주기적 유기실리케이트의 스핀온 코팅을 위한 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7018989
출원일자	2016-07-14
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시는 기판 상에 포토레지스트 막 및/또는 저유전상수(low-k) 막을 형성하도록 분자 자가조립(MSA) 화학물질로 기판을 스핀코팅하기 위한 프로세싱 시스템에 관한 것이다.스핀코팅 프로세싱 시스템은, 기판을 수용하고 기판에 MSA 화학물질을 스핀코팅할 수 있는 스핀코팅 챔버 및 스핀코팅 프로세스 후에 기판을 열처리하기 위한 어닐링 챔버를 포함할 수 있다.특정 실시예에서, 스핀코팅 프로세싱 시스템은 또한, 스핀코팅 프로세스 전에 기판을 사전처리 또는 프리웨팅할 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018989
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