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광학 센서, 광학 검사 장치, 및 광학 특성 검출 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7007680
출원일자	2016-03-23
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광학 센서는, 피검체에 광을 조사하는 광 조사기를 적어도 하나 포함하는 조사계; 및 조사계로부터 조사되며 피검체 내에서 전파되는 광을 검출하는 검출계를 포함한다.또한, 광 조사기는, 평행하지 않은 복수의 광 빔을 피검체의 동일 위치에 조사한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167007680
첨부파일

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