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기판 처리 장치, 디바이스 제조 시스템 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2017-7010559
출원일자	2017-04-18
공개번호	20170427
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판 처리 장치(1011)는, 조명 영역(IR)과 투영 영역(PA) 중 한쪽 영역에 있어서 소정 곡율로 원통면 모양으로 만곡한 제1 면(p1001)을 따르도록, 제1 물체(M)와 제2 물체(P) 중 한쪽을 지지하는 제1 지지 부재(1021)와, 조명 영역과 투영 영역 중 다른 쪽 영역에 있어서 소정의 제2 면(p1002)을 따르도록, 제1 물체와 제2 물체 중 다른 쪽을 지지하는 제2 지지 부재(1022)를 구비한다. 투영 광학계(PL)는, 조명 영역으로부터 투영 영역에 이르는 결상 광속의 주광선 중, 제1 면과 투영 광학계 사이의 주광선이, 제1 면의 지름 방향 중 제2 면과 비수직인 지름 방향을 향하도록, 결상 광속을 전파시키기 위한 편향 부재를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177010559
첨부파일

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