| 초록 |
본 발명은 어닐링 단열수단을 구비한 사파이어 단결정 성장장치 및 그 성장방법에 관한 것으로, 퍼니스(furnace); 상기 퍼니스 내부에 위치하며, 사파이어 원료가 용융되고, 종자결정으로부터 단결정이 성장되는 적어도 하나의 도가니; 상기 도가니 각각에 개별적으로 대응하여 외측면에 이격되어 배치되는 것으로, 각각 독립적으로 제어하여 상기 도가니를 가열하는 복수개의 발열체; 상기 종자결정의 완전 용융을 방지하고 도가니 상하의 온도차에 의하여 결정성장 시키기 위해 도가니의 바닥에서 하부로 연장되어 설치되는 냉각수단; 및 결정성장이 완료되고 어닐링 단계에 상기 냉각수단의 상기 도가니 바닥 하부로 이탈시켜 냉각을 차단함과 동시에 상기 냉각수단과 도가니 사이의 열 흐름을 차단하여 도가니 상하의 온도차를 제거하기 위한 어닐링 단열수단을 포함한다. 이와 같은 본 발명은, 본 발명은 결정성장이 완료된 후 트윈이나 크랙이 없는 양질의 대형 사파이어 단결정을 성장시키고, 대형의 사파이어 단결정 성장이 가능하게 되므로 사파이어 단결정의 생산성 향상과 원가절감에 큰 효과가 있는 사파이어 단결정 성장장치 및 이를 이용한 성장방법을 제공한다. |
