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도가니 지지체를 이용한 사파이어 단결정 성장장치 및 이를 이용한 사파이어 단결정 성장방법

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기관명	NDSL
출원인	에스엠엔티 주식회사
출원번호	10-2015-0126285
출원일자	2015-09-07
공개번호	20160721
공개일자	2016-07-14
등록번호	10-1639627-0000
등록일자	2016-07-08
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 도가니 지지체를 이용한 사파이어 단결정 성장장치 및 이를 이용한 사파이어 단결정 성장방에 관한 것으로, 퍼니스(furnace); 상기 퍼니스 내부에 위치하며, 사파이어 원료가 용융되고, 종자결정으로부터 단결정이 성장되는 적어도 하나 이상의 도가니; 상기 도가니 외부에 배치되고 상기 도가니를 가열하는 발열체; 및 상기 도가니 바닥 및 측면 외측에 설치되는 도가니 지지체를 포함하여 구성된다. 이와 같은 본 발명은, 다수의 도가니로부터 동시에 대형 사파이어 단결정을 성장시키기고 결정성장 도중에 도가니의 변형을 방지할 뿐만 아니라, 수율을 향상시키고 다수의 도가니를 성장로 내에 배열시켜 동시에 다수의 사파이어 단결정을 성장시킴으로써 생산성을 획기적으로 증대시키는 경제적이고 효율적인 사파이어 단결정 성장장치 및 이를 이용한 성장방법을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150126285
첨부파일

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