입자 분광기를 위한 분석기 배열
기관명 | NDSL |
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출원인 | 브이쥐 사이언타 악티에볼라그 |
출원번호 | 10-2014-7019572 |
출원일자 | 2014-07-14 |
공개번호 | 20141204 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은 입자 방출 샘플(11)로부터 방출된 대전 입자에 관한 적어도 하나의 파라미터, 예를 들어 입자의 에너지, 시작 방향, 시작 위치 또는 스핀에 관한 파라미터를 결정하는 방법에 관한 것이다. 본 방법은 대전 입자의 빔을 렌즈 시스템(13)에 의하여 측정 구역의 입구로 가이드하는 단계, 및 측정 구역에서 상기 적어도 하나의 파라미터를 나타내는 입자의 위치를 검출하는 단계를 포함한다. 나아가, 방법은 입자 빔이 측정 구역으로 입사하기 전에 동일한 좌표 방향으로 적어도 2번 입자빔을 편향시키는 단계를 포함한다. 이에 의해, 측정 구역(3)의 입구(8)에서 입자빔의 위치와 방향은 샘플(11)을 물리적으로 조작할 필요 없이 어느 정도 제어될 수 있다. 이것은 샘플을 효율적으로 냉각시킬 수 있어 에너지 측정 시 에너지 해상도를 개선할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147019572 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01J-049/48,H01J-037/05,G01N-023/227,H01J-049/00 |
주제어 (키워드) |