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리니어 모터 스테이지의 제어 방법 및 제어 장치

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기관명	NDSL
출원인	히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
출원번호	10-2019-0161808
출원일자	2019-12-06
공개번호	20200624
공개일자	2022-06-17
등록번호	10-2410575-0000
등록일자	2022-06-14
권리구분	KPTN
초록	설계의 흐름, 제어기의 조정이 용이하고, 제어 이론에 관한 특별한 지식을 필요로 하지 않고, 정확하고 빠른 위치 결정을 가능하게 하는, NCTF 제어법에 따른 리니어 모터 스테이지의 제어 방법 및 제어 장치를 제공한다. 정반에 가동되는 테이블이 설치되어 있는 리니어 모터 스테이지에서 위치 결정을 할 때, 리니어 모터 스테이지의 입력 신호를 이용한 개루프 실험에서 얻은 규범 특성 궤적을 이용한 NCTF 제어에 의하여, 정반에 기인하는 진동에 테이블을 추종시켜, 정반의 진동에 테이블을 추종시키는 과정에서 발생하는 고주파 진동을 억제한다. NCTF 제어에 피드 포워드 제어를 추가한다. 정반에 대한 테이블의 상대적인 운동에, 정반에서 기인하는 진동의 영향을 억제하는 제어를 대상으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020190161808
첨부파일

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