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파장 튜닝가능한 MEMS-파브리 페롯 필터

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기관명	NDSL
출원인	인피닉스, 인크.
출원번호	10-2016-7016955
출원일자	2016-06-24
공개번호	20160808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	파브리 페롯(FP) 필터 캐비티 튜닝에 기초한 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS)을 갖는 파장 튜닝가능한 이득 매질은 튜닝가능한 레이저로서 제공된다. 본 시스템은 파장 선택을 위한 레이저 캐비티 및 필터 캐비티를 포함한다. 레이저 캐비티는 반도체 광학 증폭기(SOA)와 같은 이득매질, 두 개의 평행(collimating) 렌즈들 및 단부(end) 반사기로 구성된다. MEMS-FP 필터 캐비티는 고정 반사기 및 전자기적 힘에 의해 제어가능한 가동 반사기를 포함한다. MEMS 반사기의 무빙으로서, 파장은 FP 필터 캐비티 길이의 변경에 의해 튜닝될 수 있다. MEMS FP 필터 캐비티 변위는 스탭 전압으로 이산적으로 또는 연석된 드라이빙 전압을 사용함으로써 연속적으로 튜닝될 수 있다. 연속 튜닝을 위한 드라이빙 주파수는 공명 주파수 또는 MEMS 구조의 임의의 주파수일 수 있고, 튜닝 범위는 30nm, 40nm 및 100nm 이상과 같이 상이한 튜닝 범위들일 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016955
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