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검사 장치 및 방법, 리소그래피 시스템 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7017005
출원일자	2016-06-24
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판 상에서 구조체의 특성을 측정하기 위해 스캐터로미터가 이용된다.타겟 격자는, 제1 방향으로 거리 g P 에 걸쳐 주기적으로 배열되어 있는 라인을 포함하며, 각각의 라인은 제2 방향으로 거리 g L 만큼 각각 연장되어 있다.격자를 방사선의 스팟으로 조명하며, 회절된 방사선이 검출되어 CD, 측벽각 등의 측정치를 계산하는데 이용된다.스팟은 제1 방향으로의 스팟의 치수 f P 가 거리 g P 보다 큰 한편 제2 방향으로의 스팟의 치수 f L 은 거리 g L 보다 작도록 격자에 커스터마이징된 시야(field of view)를 규정한다.격자는 기존 격자보다 작을 수 있다.이러한 계산은, 격자가 제1 방향으로는 유한하지만 제2 방향으로는 무한하다고 가정하는 수학적 모델을 이용하여 단순화되고 보다 견고하게 이루어질 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017005
첨부파일

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