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클리닝 가스 및 클리닝 방법

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기관명	NDSL
출원인	샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2015-7025227
출원일자	2015-09-14
공개번호	20151022
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 적어도 일부가 그라파이트 구조를 가지는 탄소로 이루어지는 기재에 퇴적한 탄화규소를 함유하는 퇴적물을 제거하기 위한 클리닝에 있어서, 칠불화요오드를 포함하는 클리닝 가스를 이용하는 것을 특징으로 한다.상술한 클리닝 가스의 사용에 의해, 그라파이트를 에칭하지 않고, 탄화규소를 제거하는 것이 가능해진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157025227
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