| 기업공감원스톱서비스

유전체막들의 증착

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7018889
출원일자	2016-07-13
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	하나 이상의 유기규소 및/또는 테트라알킬 오르쏘실리케이트 가스들일 수 있는 하나 이상의 전구체 가스들, 예를 들어, 하나 이상의 규소-함유 가스들은 가공 챔버에 도입되고, 라디칼들에 노출된다.본원에 기술된 기술들을 이용하여 증착된 유전체막들은 규소를 함유할 수 있다.증착된 막들은 적은 결함들, 낮은 수축, 및 높은 에치 선택성, 기계적 안정성, 및 열 안정성을 나타낼 수 있다.일부 구체예들에서, 증착된 막은 수소 부재일 수 있다.증착 조건들은 매우 온화할 수 있으며, 이에 따라, UV 방사선 및 이온 충격으로부터의 기판 및 증착시 막들에 대한 손상이 최소화되거나 존재하지 않는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018889
첨부파일

기업조회