| 초록 |
본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 다층 박막 증착 장치를 개시한다. 그의 장치는, 기판을 로딩하는 로딩 챔버와, 상기 기판을 언로딩하는 언로딩 챔버와, 상기 기판 상에 피처리물을 증착시키기 위한 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건과, 상기 기판과 상기 스퍼터 건 사이에 배치된 유도 결합 플라즈마 튜브들을 구비하고, 상기 기판 상에 제 1 산화물/금속/제 2 산화물의 피 처리물에 대한 연속 증착 공정을 수행하기 위해 상기 로딩 챔버와 상기 언로딩 챔버 사이에 일라인으로 연결된 제 1 공정 챔버, 제 2 공정 챔버, 제 3 공정 챔버를 포함하는 복수개의 공정 챔버들과, 상기 로딩 챔버에서 상기 언로딩 챔버까지 상압보다 낮은 진공압을 제공하기 위해 상기 로딩 챔버와 제 1 공정 챔버에 공통으로 연결된 제 1 펌프와, 상기 제 2 공정 챔버에 단독으로 연결된 제 2 펌프와, 상기 언로딩 챔버와 상기 제 3 공정 챔버에 공통으로 연결된 제 3 펌프로 이루어진 진공 펌프들과, 상기 제 1 공정 챔버 및 상기 제 3 공정 챔버에 산소를 공급하는 산소 공급부들을 포함한다. |
