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광학 이미지를 주사 전자 현미경 이미지와 상관시키기 위한 방법 및 시스템

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7014691
출원일자	2016-06-01
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	SEM 이미지와의 광학 이미지의 상관은, 샘플을 광학 검사 서브시스템으로 주사하는 것에 의해 샘플의 전체 광학 이미지를 획득하는 것, 전체 광학 이미지를 저장하는 것, 전체 광학 이미지에 존재하는 관심 피쳐의 위치를 추가 소스로 식별하는 것, 식별된 위치에서 피쳐를 포함하는 샘플의 일부의 SEM 이미지를 SEM 툴로 획득하는 것, 추가 소스에 의해 식별되는 위치에서 광학 이미지 부분 - 그 이미지 부분은 참조 구조를 포함함 - 을 획득하는 것, 이미지 부분 및 SEM 이미지 둘 다에서의 관심 피쳐 및 참조 구조의 존재에 기초하여 이미지 부분 및 SEM 이미지를 상관시키는 것, 및 보정된 광학 이미지를 형성하기 위해, SEM 이미지에서의 관심 피쳐의 위치를, 전체 광학 이미지의 이미지 부분의 좌표 시스템으로 변환하는 것을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014691
첨부파일

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