산화물 박막 형성용 용액 조성물 및 상기 산화물 박막을 포함하는 전자 소자
기관명 | NDSL |
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출원인 | , |
출원번호 | 10-2016-0093408 |
출원일자 | 2016-07-22 |
공개번호 | 20160808 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 아연을 함유하는 제1 화합물, 인듐을 함유하는 제2 화합물 및 마그네슘을 함유하는 제3 화합물을 포함하는 산화물 박막 형성용 용액 조성물과 상기 용액 조성물로부터 형성되며 아연, 인듐 및 마그네슘을 포함하는 산화물 반도체를 포함하는 전기 소자를 제공한다.또한 아연을 함유하는 제1 화합물, 인듐을 함유하는 제2 화합물 및 하프늄을 함유하는 제3 화합물을 포함하고, 상기 아연과 상기 하프늄의 원자수 비율이 1:0.01 내지 1:1인 산화물 박막 형성용 용액 조성물 또한 제공한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160093408 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01B-001/08,H01L-021/02,H01L-027/12,H01L-029/26,H01L-029/786 |
주제어 (키워드) |