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화학 증폭형 포지티브형 감광성 수지 조성물, 감광성 드라이 필름, 감광성 드라이 필름의 제조 방법, 패턴화된 레지스트막의 제조 방법, 주형 부착 기판의 제조 방법, 및 도금 조형물의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
출원번호	10-2019-0049268
출원일자	2019-04-26
공개번호	20191121
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 고감도이고, 단면 형상이 사각형인 레지스트 패턴을 형성하기 쉬운 화학 증폭형 포지티브형 감광성 수지 조성물과, 당해 화학 증폭형 포지티브형 감광성 수지 조성물로 이루어지는 감광성 수지층을 구비하는 감광성 드라이 필름, 당해 감광성 드라이 필름의 제조 방법과, 전술한 화학 증폭형 포지티브형 감광성 수지 조성물을 사용하는 패턴화된 레지스트막의 제조 방법과, 전술한 화학 증폭형 포지티브형 감광성 수지 조성물을 사용하는 주형 부착 기판의 제조 방법과, 당해 주형 부착 기판을 사용하는 도금 조형물의 제조 방법을 제공하는 것. (해결 수단) 활성 광선 또는 방사선의 조사에 의해 산을 발생하는 산 발생제 (A) 와, 산의 작용에 의해 알칼리에 대한 용해성이 증대되는 수지 (B) 를 포함하는 화학 증폭형 포지티브형 감광성 수지 조성물에, 루이스산성 화합물 (C) 를 함유시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020190049268
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