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제작 편의성 및 기계적 구조상의 안정성이 향상된 소형 마이크로파 플라즈마 발생기

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 메디플
출원번호	10-2013-0057009
출원일자	2013-05-21
공개번호	20141121
공개일자	2014-11-07
등록번호	10-1458592-0000
등록일자	2014-10-30
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 조립이 용이하고, 조립 과정에서 불량 발생 확률을 최소화할 수 있으며, 외부도체와 내부도체와의 간격을 일정하게 유지할 수 있는 소형 마이크로파 플라즈마 발생기에 관한 것으로, 본 발명에 따른 소형 마이크로파 플라즈마 발생기는, 일단부에 플라즈마가 발생되는 토출구가 형성되고, 다른 일단부에 접속구가 개방되게 형성된 중공관 형태의 외부도체와; 상기 외부도체의 접속구에 결합되면서 접속구를 폐쇄하며, 외부의 전원장치와 전기적으로 연결되는 컨넥터와; 상기 컨넥터의 내측에서부터 외부도체의 내측으로 동축상으로 연장되면서 끝단부가 상기 토출구에 위치하는 내부도체와; 상기 외부도체와 내부도체를 연결하는 연결도체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130057009
첨부파일

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