| 초록 |
본 발명의 회전형 미세 패턴 각인장치는 레이저 빔을 생성시키는 레이저 장치부와; 상기 레이저 장치부의 후단에 설치되어 필요 시 레이저 빔을 차단하는 역할을 하는 셔터 장치부와; 상기 셔터 장치부의 후단에 설치되며, 두 개의 렌즈가 구성되어 렌즈의 사이의 각도를 조절함으로써 통과하는 레이저 빔의 파워을 조절하는 어테뉴에이터 장치부와; 상기 어테뉴에이터 장치부의 후단에 설치되며 시편의 재질에 따라 레이저 빔의 에너지의 세기를 변화시키기 위하여 통과하는 레이저 빔의 에너지를 측정하며, 공정 시에는 레이저 빔이 지나가는 경로에서 빠져있다가 측정을 원하는 경우 구동하여 레이저 빔의 경로를 차단하고 레이저의 에너지를 측정하는 에너지 미터 장치부와; 상기 에너지 미터부 장치부의 후단에 설치되어 레이저 빔의 경로를 바꾸어 주며, 레이저 빔의 각도와 좌우·전후·상하의 XYZ축으로 위치 변경이 가능한 미러 장치부와; 입사되는 레이저 빔을 두 갈래로 나누며 나누어진 레이저 빔이 다시 만나게 만들어, 만난 두 레이저 빔이 보강 상쇄 간섭을 통해 회절패턴을 띄는 레이저 빔으로 만드는 간섭광학계 장치부와; 상기 미러 장치부 후단에 설치되고, 상기 간섭광학계 장치부가 하부에 장착되어 상기 간섭광학계 장치부를 회전시켜 상기 간섭광학계 장치부를 통과한 간섭패턴을 띄는 레이저 빔의 각도를 변하게 하는 로터리 스테이지 장치부와; 수많은 마이크로미터 크기의 간섭패턴을 가진 광 분포를 이용하여 시편에 마이크로 패턴을 단시간에 각인하기 위하여, 상기 시편을 올려놓는 테이블 역할을 하며 좌우 전후 상하의 XYZ축 방향으로 이동가능한 XYZ 스테이지 장치부를 포함하여 구성된다. 본 발명의 회전형 미세 패턴 각인장치에 따르면 펄스 에너지와 레이저 빔의 간섭에 의한 광분포를 이용하므로 매우 짧은 시간에 미세패턴을 형성할 수 있으며, 미세패턴의 각도를 복호화하여 각도별로 문자와 매칭시켜 정보를 담고 있는 위조 불가능한 패턴을 제작할 수 있고, 형성된 미세패턴은 패턴 사이즈가 마이크로급이며 패턴의 개수가 많아 위조가 불가능하다. |
