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조합기판과 분할기구, 성장박막 및 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	이형곤
출원번호	10-2012-0114554
출원일자	2012-10-16
공개번호	20140502
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	성장박막을 원하는 크기로 분할하는 공정을 줄여주고, 성장박막의 생산면적을 늘려 주어 생산원가를 절감할 뿐 아니라 기판의 구입비용을 절약하고 불량발생 확률을 줄여주는 목적, 성장박막이 성장되는 과정에서 지정된 크기로 자연스럽게 분할된 성장박막(들)을 수득할 수 있도록 하는 목적, 박막 성장 과정에서 자연스럽게 성장박막의 일부 두께 범위에서 전극층을 분할기구와 대면하는 형태로 성장시킬 목적, 기판의 휨현상을 방지할 목적, 저결함 고품질의 성장박막을 제공할 목적, 기판들을 보다 균일하게 가열할 목적, 작은 조각 칩형 기판을 이용하여 생산성과 품질을 높여줄 목적의 기판으로서 조합기판과 상기 조합기판의 구성요소인 분할기구와 성장박막 및 그 것들의 제조방법이 제공된다
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020120114554
첨부파일

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