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진공 펌프

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기관명	NDSL
출원인	에드워즈 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7032437
출원일자	2015-11-12
공개번호	20160407
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 배기하는 가스 유량의 영향을 받지 않고, 생성물 퇴적 방지의 관점에서 고온화가 필요한 배기측 가스 유로의 고정 부품만을 집중적으로 효율 좋게 가열하는 것, 그 가열에 의한 배기측 가스 유로에서의 생성물의 퇴적을 방지하는 것, 및, 펌프 배기 성능의 향상을 도모하는 것을 가능하게 한 진공 펌프를 제공하는 것이다. (해결 수단) 진공 펌프는, 펌프 베이스 상에 회전 가능하게 배치된 로터와, 로터의 회전에 의해 흡기한 가스를 배기구로 인도하는 가스 유로를 갖고, 또한, 가스 유로 전체 중 배기측 가스 유로를 구성하는 고정 부품을 그 이외의 부품으로부터 단열하는 단열 수단과, 그와 같이 단열된 고정 부품을 가열하는 가열 수단을 구비하고 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157032437
첨부파일

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