기화기 및 그 제조 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | 가부시키가이샤 웰콘 |
출원번호 | 10-2021-7031613 |
출원일자 | 2021-09-30 |
공개번호 | 20211110 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | [과제] 원료 미스트를 치밀한 온도 관리하에 가열하는 것이 가능하기 때문에, 원하는 온도로 조정되며, 또한 온도의 불균일이 매우 적은 기체 원료를 얻을 수 있고, 나아가 석출물을 거의 발생시키지 않는 기화기의 제공. [해결수단] 원료 미스트를 가열하여 기화시킴으로써 성막용의 기체 원료를 얻는 기화기로서, 상기 원료 미스트가 유통하는 제1 유로 및 상기 원료 미스트를 가열하는 열매체가 유통하는 제2 유로를 금속 재료로 이루어지는 주부의 내부에 가지며, 상기 제1 유로의 단면의 등면적 원 상당직경이 5mm 이하, 상기 제2 유로의 단면의 등면적 원 상당직경이 2mm 이하이고, 상기 주부의 내부에 있어서 하나의 제1 유로와, 그 이웃에 존재하는 다른 제1 유로의 사이에, 제2 유로 이외의 공극이 존재하지 않는, 성막용의 기체 원료를 얻는 기화기. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020217031613 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C23C-016/448,H01J-037/32 |
주제어 (키워드) |