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향상된 오버레이 보정을 위한 저접촉 임프린트 리소그래피 템플레이트 척킹 시스템

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7014843
출원일자	2016-06-03
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	구조적 지지 기능들을 실질적으로 유지시키는 동시에 임프린트 품질 기능들을 현저히 향상시키는 임프린트 리소그래피 템플레이트 척, 관련 시스템 및 방법이 제공된다.이러한 척은 분리 시에 여전히 우수한 구조적 지지를 제공하면서도 정렬 및 왜곡 보정 시의 템플레이트 접촉을 상당히 감소시키는 동적 진공 시일을 편입한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014843
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