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매칭 네트워크 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	페어테크 코포레이션
출원번호	20-2016-0004631
출원일자	2016-08-10
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUUM
초록	본 고안은 무선 주파 발생기와 플라스마 처리 장치 사이에 결합되고, 임피던스 매칭 모듈과 제어 모듈 그리고 탐지 모듈을 포함하고, 여기서, 제어 모듈은 임피던스 매칭 모듈에 결합되고, 그리고 기본 설정 모드을 구비히고, 기본 설정 모드는 플라스마 처리 장치의 임피던스 범위에 따라 임피던스 매칭 모듈의 매칭 임피던스 전환을 지시하고, 탐지 모듈은 제어 모듈과 무선 주파 발생기 및 플라스마 처리 장치의 사이에 결합되고, 여기서, 탐지 모듈은 무선 주파 발생기와 플라스마 처리 장치의 임피던스를 탐지하여 탐지 신호를 제어 모듈로 출력하고, 제어 모듈은 탐지 신호에 따라 기본 설정 모드를 조정함으로써 임피던스 매칭 모듈이 무선 주파 발생기에서 출력된 무선 주파 에너지를 플라스마 처리 장치까지 전송하도록 하는 매칭 네트워크 장치를 제시한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUUM&cn=KOR2020160004631
첨부파일

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