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노광 장치 및 이를 이용한 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-0102354
출원일자	2016-08-11
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 노광 장치는, 기판 면에 공액인 면에 배치되고, 상기 기판 상의 원형 경계선 외측의 외주 영역에 광이 입사하지 않도록 광을 차단하는 차광판과; 상기 차광판을 상기 조명계의 광축에 평행한 축을 중심으로 회전 구동시키는 제1 구동 유닛과; 상기 차광판을 상기 광축에 수직인 면 내에서 직선 구동시키는 제2 구동 유닛과; 차광 위치를 검출하는 검출 유닛과; 기준 시점에서의 차광 위치와, 상기 기준 시점 후에 상기 차광판이 변경된 경우 상기 차광판의 변경 전후의 차광 위치를 저장하고, 상기 차광판이 변경된 후의 임의의 시점에서 상기 검출 유닛에 의해 검출되는 차광 위치와, 상기 기준 시점에서의 차광 위치와, 상기 차광판이 변경되기 전후의 차광 위치 사이의 차분에 기초하여, 상기 차광 위치의 변화량을 산출하는 제어 유닛을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160102354
첨부파일

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