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실시간 레티클 만곡 감지

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7022046
출원일자	2016-08-11
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	레티클을 굽어지게 하고 굽어진 레티클의 만곡을 실시간으로 감지하는 시스템 및 방법을 제공한다.본 시스템은 이동 가능 레티클 스테이지, 레티클 진공 클램프, 센서 시스템, 및 레티클 벤더(reticle bender)를 포함한다.레티클 벤더는 피에조 액추에이터를 포함한다.센서 시스템은 측정 타겟 및 대응하는 센서를 포함한다.센서는 이동 가능 레티클 스테이지에 부착되며, 측정 타겟은 레티클 클램프에, 레티클 벤더에, 또는 레티클 표면 상에 부착된다.본 시스템은, 레티클의 폭 또는 레티클의 반대 단부에 있는 측정 타겟들 간의 거리를 결정하고, 레티클의 제1 단부에서의 제1 회전 각도를 측정하고, 제1 단부의 반대쪽에 있는 레티클의 제2 단부에서의 제2 국부 회전 각도를 측정하도록 구성된다.폭 또는 거리와 제1 각도와 제2 각도에 기초하여, 레티클의 상면 만곡(field curvature)이 결정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167022046
첨부파일

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