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검사 방법 및 장치, 및 리소그래피 장치

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7019014
출원일자	2016-07-14
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	하나 이상의 제품 피처들이 리소그래피 공정을 이용하여 형성된 기판의 이미지 특성을 보정하는 방법 및 연계된 검사 장치 방법이 개시된다.상기 방법은, 상기 기판의 상기 이미지 특성의 오차를 측정하는 단계; 및 상기 제품 피처(들) 중 하나 이상의 특성 및 측정된 오차에 기초하여 상기 제품 피처들의 후속 형성에 대한 보정들을 결정하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019014
첨부파일

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