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하전 입자빔 묘화 장치, 포맷 검사 장치 및 포맷 검사 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2014-0045894
출원일자	2014-04-17
공개번호	20141121
공개일자	2016-02-26
등록번호	10-1598164-0000
등록일자	2016-02-22
권리구분	KPTN
초록	실시예에 따른 하전 입자빔 묘화 장치는, 계층 구조를 가지는 묘화 데이터에 대하여 검사 내용에 기초하는 포맷 검사를 행하는 포맷 검사부와, 묘화 데이터가 포맷 검사부에 의한 검사에 합격한 경우, 묘화 데이터에 관한 부호화 정보 및 포맷 검사에 관한 검사 정보를 생성하는 정보 생성부와, 그 부호화 정보 및 검사 정보를 기억하는 정보 기억부와, 전술한 묘화 데이터에 대하여 검사 내용에 기초하는 포맷 검사를 재차 행할 경우, 정보 기억부 내의 부호화 정보를 이용하여 묘화 데이터를 검사하는 부호 검사부와, 묘화 데이터가 부호 검사부에 의한 검사에 합격한 경우, 포맷 검사를 생략하고, 정보 기억부 내의 검사 정보를 검사하는 정보 검사부와, 그 검사 결과에 따라 포맷 검사의 처리 내용을 바꾸어 검사를 행하는 검사 실행부를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140045894
첨부파일

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