| 초록 |
반응챔버에 사용되는 차폐구조가 제공된다. 상기 구조는 반응챔버 내에 설치되는 것으로, 차단부재와 차폐부재를 포함한다. 상기 차폐부재는 반응챔버 내벽을 둘러싸는 형태로 설치되고, 차폐부재 상에 축방향에 따라 상기 차폐부재를 관통하는 적어도 하나의 노치가 설치되며, 상기 노치가 위치하는 평면 상에서 상기 차단부재의 투영(projection)은 상기 노치를 덮으며, 상기 차단부재와 상기 차폐부재 사이에 무선주파수(RF) 에너지 전송 통로가 형성되도록 하기 위하여, 상기 차단부재의 내표면으로부터 상기 반응챔버의 중심부까지의 거리와 상기 차페부재의 내표면으로부터 상기 반응챔버의 중심부까지의 거리는 동일하지 않게 형성된다. 본 발명이 제공하는 차폐구조는 스퍼터 입자 및/또는 대전 이온이 반응챔버 내벽에 가하는 충격을 방지할 수 있으므로, 스퍼터 입자가 퇴적되면서 생기는 금속층에 의한 폐회로의 생성을 방지할 수 있고 또한 스퍼터 입자의 박리에 의한 입자 오염을 방지할 수 있다. 부가적으로, 본 발명이 제공하는 차폐구조는 가공 정도에 대한 요구도 낮출 수 있기 때문에 제조 및 설치 비용을 절감할 수 있다. |
