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플라즈마 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2013-0124177
출원일자	2013-10-17
공개번호	20140502
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	처리 용기 내에 배치되는 재치대 내부의 발열체와 처리 용기의 밖에 배치되는 히터 전원을 전기적으로 연결하는 히터 급전 라인 상에 필터 유닛을 설치함에 있어서, 재치대 상의 전자 밀도 분포 또는 프로세스 특성의 면내 균일성에 주는 영향을 최대한 줄인다. 이 플라즈마 처리 장치에서는, 서셉터(12)의 내부에 설치되는 발열체(50)는, 서셉터(12) 내를 통과하는 내부 도체(51), 스페이스(SP)를 종단하는 급전 도체(52), 필터 유닛(54) 및 전기 케이블(56)을 개재하여, 챔버(10) 밖의 히터 전원(58(IN))에 전기적으로 접속되어 있다. 필터 유닛(54)의 케이싱(110)은, 급전봉(40)의 주변을 둘러싸는 원통 형상의 도체 커버(42)에 인접하여 챔버(10)의 저벽(베이스)(10a)에 형성되어 있는 개구(114)에 챔버(10) 아래로부터 수직으로 감합되고, 챔버(10)의 저벽(10a)에 물리적 또한 전기적으로 결합되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130124177
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