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전기 회로를 가진 구조체에서의 휨 감소

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기관명	NDSL
출원인	인벤사스 코포레이션
출원번호	10-2016-7017662
출원일자	2016-06-30
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	웨이퍼의 적어도 하나의 영역에서 휨을 감소시키기 위해, 응력/휨 관리 층(810)이 존재하는 휨을 과도-상쇄시키도록 그리고 그것의 방향을 변화시키도록 형성된다.예를 들어, 영역의 중간이 영역의 경계에 비해 위로 불룩하면, 영역의 중간이 하향으로 불룩해질 수 있거나, 그 반대의 경우도 가능하다.이어서, 응력/휨 관리 층이 과도-상쇄를 감소시키도록 처리된다.예를 들어, 응력/관리 층이 선택된 위치에서 웨이퍼로부터 탈접합될 수 있거나, 리세스가 층 내에 형성될 수 있거나, 상 변화가 층 내에서 유도될 수 있다.다른 실시예에서, 이러한 층은 휨을 과도-상쇄시킬 수 있거나 그렇지 않을 수 있는 탄탈륨-알루미늄이고; 이러한 층은 온도 변화에 맞게 동적으로 조절되어 휨을 감소시키는(가능하게는 웨이퍼를 열 사이클링을 통해 평평하게 유지시킴) 결정-상-의존적(crystal-phase-dependent) 응력으로 인해 휨을 감소시키는 것으로 여겨진다.다른 특징이 또한 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017662
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