알킬인듐 화합물의 제조 방법 및 이의 용도
기관명 | NDSL |
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출원인 | 우미코레 아게 운트 코 카게 |
출원번호 | 10-2016-7007076 |
출원일자 | 2016-03-17 |
공개번호 | 20160428 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은 고 수율로 그리고 고 선택성과 순도로서 디알킬인듐클로라이드의 비용 효율이 높고 환경 친화적인 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라 제조되는 디알킬인듐클로라이드는 또한 고 순도 및 수율의 결과로서 요구에 따라 고 수율로 그리고 고 선택성과 순도로서 인듐 함유 전구체의 제조에 특히 적합하다. 고 순도의 결과로서, 제조될 수 있는 인듐 함유 전구체는 금속 유기 화학 증착(MOCVD) 또는 금속 유기 기상 에피택시(MOVPE)에 특히 적합하다. 본 발명에 따른 신규 방법은 방법의 개선된 실행, 특히 신속 공정 제어를 특징으로 한다. 비용 효율이 높고 환경 영향이 적은 원료의 표적화 및 대량 사용으로 인해, 본 방법은 또한 산업적 규모로 사용하는데 적합하다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167007076 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C07F-005/00,H01L-031/18,H01L-033/00 |
주제어 (키워드) |