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반도체 검사 및 리소그래피 시스템을 위한 스테이지 장치

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7017357
출원일자	2016-06-28
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 샘플이, 스테이지 프레임에 대해서 이동 가능한 스테이지의 척 상에 수용된다.스테이지, 척, 및 샘플이, 샘플을 검사 또는 노출시키기 위한 검사 또는 노출 헤드 아래에서 이동되고, 복수의 2D 인코더 헤드가 척과 결합된다.다중 2D 인코더 스케일이 베이스와 결합되고, 그러한 베이스를 통해서 헤드가 삽입되며, 스테이지 인코더가 스테이지 프레임 상에 배치된다.스테이지, 척, 및 샘플의 이동은, 2D 인코더 스케일에 의해서 덮히지 않는 갭 내에 있는 미리 규정된 위치에 도달될 때까지, 2D 인코더 헤드 중 적어도 하나에 의해서 검출되는 위치를 기초로 제어된다.스테이지, 척, 및 샘플의 이동 제어는, 갭 내에 있는 그러한 미리 규정된 위치에 도달될 때, 스테이지 인코더에 의해서 검출되는 위치를 기초로 하는 것으로 스위칭된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017357
첨부파일

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