| 기업공감원스톱서비스

모델링을 사용하여서 플라즈마 시스템과 연관된 이온 에너지 결정

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	램 리써치 코포레이션
출원번호	10-2014-0031275
출원일자	2014-03-17
공개번호	20140925
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이온 에너지를 결정하는 시스템들 및 방법들이 기술된다.이 방법들 중 하나는 생성기의 출력을 검출하여서 생성기 출력 복소 전압 및 전류 V I를 식별하는 동작을 포함한다.생성기는 임피던스 매칭 회로에 접속되고 임피던스 매칭 회로는 정전척 ESC에 접속된다.이 방법은 임피던스 매칭 회로의 모델과 ESC 모델의 출력부 간의 경로를 따르는 지점에서의 프로젝트된 복소 V I를 상기 생성기 출력 복소 전압 및 전류 V I로부터 결정하는 동작을 더 포함한다.프로젝트된 복소V I를 결정하는 동작은 상기 경로의 적어도 일부에 대한 모델을 사용하여서 수행된다.이 방법은 상기 프로젝트된 복소 V I를 상기 프로젝트된 복소 V I를 웨이퍼 바이어스 값으로 맵핑하는 함수에 입력으로서 인가하며 상기 웨이퍼 바이어스로부터 이온 에너지를 결정하는 동작을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140031275
첨부파일

기업조회