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산란 측정 오버레이 계측 타겟 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2015-7036089
출원일자	2015-12-21
공개번호	20160211
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	산란 측정 오버레이(SCOL) 타겟뿐만 아니라 그 설계, 생산 및 측정 방법이 제공된다. SCOL 타겟은 그들의 구조적 타겟 요소 또는 그 구성품들 중 일부를 공유하는 상이한 측정 방향으로 수 개의 주기적 구조물을 갖는다. 공통 요소의 어레이는 측정 방향에 평행하고 그에 따라서 타겟을 소형화하고 또는 대안적으로 타겟의 영역 사용 효율성을 증가시킬 수 있는 대칭 방향을 가질 수 있다. 각종 구성은 타겟 내 및 측정 방향으로 다수의 층들을 배열하고 상기 층들 중에서 각각의 오버레이 측정을 실시함에 있어서 융통성을 높일 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157036089
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