| 초록 |
본 발명은 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조 공정 등에 적용되는 일정한 압력을 유지하거나 가스 등의 유체의 흐름을 순방향으로 유지하기 위한 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하였을 때 신속하게 차단하여 방지할 수 있는 역압 차단 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유체 유입부와 유체 유출부 및 유체 통과 공간부로 구성된 밸브 바디와, 상기 유체가 역압 시 유체의 흐름을 차단할 수 있는 차단판을 상부에 안치하면서 역압 차단시 상기 유체 통과 공간부로 수평 이동되는 이송체와, 상기 이송체를 수평으로 이동시키는 이송체 이동수단으로 구성하여, 평상시는 밸브의 유체 공간 통로에 장애물이 없어 직관과 같이 유체의 흐름을 방해하지 않다가 배관 내에 역압이 발생하면 상기 이송체가 차단 위치까지 수평으로 이동되고 상기 차단위치에서 상기 이송체에 안치된 차단판이 부양되면서 유체의 흐름을 차단하게 함으로써, 파우더가 발생되는 공정에서도 원활하게 작동되는 슬라이딩 역압 차단 밸브에 관한 것이다. |
