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아크 램프용 질소 주입

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기관명	NDSL
출원인	맷슨 테크놀로지, 인크.
출원번호	10-2019-7035520
출원일자	2019-11-29
공개번호	20191212
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	하나 이상의 아크 램프의 오염물을 감소시키기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 일 예시적인 구현은 밀리세컨드 어닐 시스템에 관한 것이다. 밀리세컨드 어닐 시스템은 밀리세컨드 어닐 프로세스를 사용하여 기판을 열 처리하기 위한 프로세싱 챔버를 포함한다. 상기 시스템은 하나 이상의 아크 램프를 추가로 포함한다. 하나 이상의 아크 램프 각각은 아크 램프의 작동 중에 아크 램프를 통해 물을 순환시키는 워터 루프에 결합된다. 상기 시스템은 아크 램프의 작동 중에 아크 램프를 통해 순환하는 물에 질소 가스와 같은 시약을 도입하도록 구성된 시약 주입 소스를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197035520
첨부파일

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