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연마 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
출원번호	10-2016-0096928
출원일자	2016-07-29
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 보다 정확히 연마의 종점을 판정하는 연마 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 연마 장치는, 연마 테이블(12)과, 연마 테이블을 회전 구동하는 제1 전동 모터(14)와, 연마 테이블과 함께 피가공물을 유지 가능한 톱링(20)과, 톱링을 회전 구동하는 제2 전동 모터(22)를 포함하고, 제1 전동 모터에 의해 연마 테이블을 회전시킴과 함께, 제2 전동 모터에 의해 톱링을 회전시켜, 연마 테이블과 톱링에 의해 협지된 상태로 피가공물을 연마하여 피가공물의 표면을 평탄화할 수 있게 되어 있으며, 제1 및 제2 전동 모터 중 적어도 한쪽의 전동 모터는, 복수 상의 권선을 포함하고, 연마 장치는, 각 상의 전류 비율에 차이를 더하는 가중을 행하는 가중부와, 가중부에 의해 가중이 크게 설정된 상의 전류의 변화를 검지함으로써, 연마에 의해 생기는 상기 전동 모터의 토크 변동을 검출하는 검출부를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160096928
첨부파일

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