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특허/실용신안
물리기상 증착장치
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 삼성전기주식회사 |
| 출원번호 | 10-2013-0102147 |
| 출원일자 | 2013-08-28 |
| 공개번호 | 20150312 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명의 물리기상 증착장치는 증착실; 전도성 재료를 플라즈마 상태로 변환시키는 플라즈마 발생유닛; 및 증착실에 수용된 도금 대상물을 향해 전도성 액체를 분사하는 분사 유닛;을 포함할 수 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130102147 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C23C-014/34,H01L-021/203 |
| 주제어 (키워드) |