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마이크로파 화학 프로세싱

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기관명	NDSL
출원인	라이텐, 인코포레이티드
출원번호	10-2019-7017358
출원일자	2019-06-17
공개번호	20190801
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	방법 및 시스템은 펄스 마이크로파 방사선을 도파관을 통해 공급하되, 상기 마이크로파 방사선은 상기 도파관을 따른 방향으로 전파하는 것을 포함한다.상기 도파관 내의 압력은 적어도 0.1 atm이다. 공급 가스는 상기 도파관의 길이부를 따른 제1 위치에 제공되고, 상기 공급 가스의 대부분은 상기 마이크로파 방사선 전파의 방향으로 흐른다.플라즈마는 상기 공급 가스에서 발생되고, 프로세스 가스는 상기 제1 위치의 다운스트림에 있는 제2 위치에서 상기 도파관에 추가된다.상기 프로세스 가스의 대부분은 5 slm 보다 큰 속도로 마이크로파 전파 방향으로 흐른다.상기 플라즈마의 평균 에너지는 상기 펄스 마이크로파 방사선의 펄스 주파수 및 상기 펄스 마이크로파 방사선의 듀티 사이클 중 적어도 하나를 제어함으로써 상기 프로세스 가스를 분리된 구성성분으로 전환시키도록 제어된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197017358
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