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플라스마 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2024-7023847
출원일자	2024-07-16
공개번호	20240814
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라스마 처리 장치는, 적재대와, 승강 기구와, 고주파 전원과, 제어부를 구비한다.적재대는, 기판이 적재되는 제1 적재면과, 링 부재가 적재되는 제2 적재면을 갖는다.승강 기구는, 링 부재를 승강시킨다.고주파 전원은, 적재대에 접속된다.제어부는, 이격시키는 공정과, 제거하는 공정을 포함하는 클리닝을 실행한다.이격시키는 공정은, 제2 적재면과 링 부재를 이격시킨다.제거하는 공정은, 이격시키는 공정 후, 플라스마를 생성하여, 적재대 및 링 부재에 퇴적된 퇴적물을 제거한다.이격시키는 공정에서, 제2 적재면과 링 부재의 이격 거리는, 제1 적재면의 외연과 링 부재의 하면의 내연의 사이의 영역에 생성되는 플라스마의 밀도가, 다른 영역에 생성되는 플라스마의 밀도보다도 높아지도록 설정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247023847
첨부파일

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