| 기업공감원스톱서비스

향상된 결정화 방지 특징들을 갖는 전기화학 퇴적 시스템들

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2024-7021701
출원일자	2024-06-28
공개번호	20240808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	향상된 결정화 방지 특징들을 갖는 전기화학 퇴적 시스템들 및 방법들이 설명된다.시스템들은, 물에 용해된 금속 염을 갖는 전기화학 퇴적 유체를 보유하도록 동작가능한 배스 용기를 포함할 수 있다.시스템들은 또한, 전기화학 퇴적 유체의 특성들을 측정하도록 동작가능한 온도계 및 농도 센서를 포함하는 센서들을 포함할 수 있다.시스템은, 전기화학 시스템으로부터 시스템 데이터를 수신하는 동작 및 유체 중의 금속 염의 결정화를 방지하기 위해 전기화학 퇴적 유체의 특성을 변경하기 위한 제어 신호를 생성하는 동작을 포함하는 동작들을 수행하도록 구성되는 컴퓨터를 더 포함한다.컴퓨터는, 전기화학 퇴적 유체 중의 실제 금속 염 농도를 유체 중의 금속 염에 대한 이론적 용해도 한계와 비교하는 것을 포함할 수 있는 처리에 기반하여 제어 신호를 생성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247021701
첨부파일

기업조회