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반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
출원번호	10-2016-7016729
출원일자	2016-06-22
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	산화물 반도체를 이용한 반도체 장치에 안정된 전기적 특성을 부여하여, 고신뢰성화하는 것을 목적의 하나로 한다.산화물 반도체막을 갖는 보텀 게이트 구조의 트랜지스터의 제작 공정에 있어서, 열처리에 의한 탈수화 또는 탈수소화 처리, 및 산소도핑 처리를 실시한다.열처리에 의한 탈수화 또는 탈수소화 처리 및 산소도핑 처리된 산화물 반도체막을 갖는 트랜지스터는, 바이어스-열스트레스 시험(BT시험) 전후에 있어서도 트랜지스터의 스레숄드 전압의 변화량이 저감되어 있어서, 신뢰성이 높은 트랜지스터로 할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016729
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