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자동화 결정 기반 에너지 분산 엑스레이 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2017-7014282
출원일자	2017-05-25
공개번호	20170706
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	일 실시형태는 목표 기판의 결함 있는 다이에서 검출된 결함들의 자동화 리뷰 방법에 관한 것이다. 이 방법은 결함들의 전자빔 이미지를 획득하기 위해 이차 전자 현미경(SEM)을 이용하여 결함들의 자동화 리뷰를 수행하는 단계와; 전자빔 이미지로부터 결정된 결함들의 형태학에 기초한 유형으로 결함들의 자동 분류를 수행하는 단계와; 자동화 에너지 분산 엑스레이(EDX) 리뷰를 위해 특정 유형의 결함을 선택하는 단계와; 특정 유형의 결함에 대하여 자동화 EDX 리뷰를 수행하는 단계를 포함한다. 또한, EDX 결과의 유용성을 개선하기 위해 정확한 기준을 획득하기 위한 자동화 기술이 개시된다. 더 나아가, EDX 결과에 기초하여 결함들을 분류하는 자동화 방법이 개시되고, 이 방법은 형태학 정보와 원소 정보를 결합한 최종 파레토를 제공한다. 다른 실시형태, 양태 및 특징들이 또한 개시된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177014282
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