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특허/실용신안

레이저광 차폐 부재, 레이저 처리 장치 및 레이저광 조사 방법

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 가부시끼가이샤 니혼 세이꼬쇼
출원번호 10-2015-7029915
출원일자 2015-10-16
공개번호 20151231
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 피처리체에 대하여 조사를 회피한 부분을 확보할 수 있도록 라인빔을 분단하고, 분단한 라인빔을 피처리체에 조사 가능하게 하기 위해서 라인빔 형상의 레이저광의 광로에 대하여 차폐 부재의 일부 또는 전부를 상대적으로 이동할 수 있게 설치하고, 이동에 따라, 분단된 라인빔의 형상 조정을 가능하게 함으로써 라인빔을 차폐 부재의 이동 위치에 의해 결정되는 형상으로 분단된 라인빔을 얻어 이것을 피처리체에 조사할 수 있고, 광학계의 교환이나 조정 시간 등을 필요로 하지 않고 조사에 지장이 있는 부위나 조사를 하고 싶지 않은 부위 등에 레이저광을 조사하지 않고 라인빔을 피처리체에 조사할 수 있어, 생산성이 좋고 또한 품질 좋게 소망의 가공을 행할 수 있다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157029915
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01L-021/268,G02F-001/13,H01L-021/768,H01L-027/32,H01L-029/786
주제어 (키워드)