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특허/실용신안

영구 자석을 구비하는 아크 증발 코팅 소스

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 플란제 에스이
출원번호 10-2015-7029977
출원일자 2015-10-16
공개번호 20151231
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 본 발명은 기상-증착될 코팅 재료로 제조된 타겟(2), 기상-증착될 코팅 재료의 기상 증착에 영향을 미치기 위한 강자성 요크(3), 및 기상-증착될 코팅 재료의 기상 증착에 영향을 미치기 위한 적어도 하나의 영구-자성체(4)를 포함하는 아크 증발 코팅 소스(1)에 관한 것이다.강자성 요크(3)는 타겟(2)과 접촉하여 배치된다.영구-자성체(4)는 강자성 요크(3)에 의해 타겟(2)에 체결된다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157029977
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01J-037/32,C23C-014/32,C23C-014/34
주제어 (키워드)