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이동체 구동 방법 및 이동체 구동 시스템, 패턴 형성 방법 및 장치, 노광 방법 및 장치, 그리고 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7006822
출원일자	2016-03-15
공개번호	20160404
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제어 장치는, 이동체 (WST) 의 XY 평면에 대한 경사각을 계측하는 간섭계의 계측값에 기초하여, 그레이팅 (39Y 1 , 39Y 2 ) 의 주기 방향에 관하여 XY 평면에 대해 이동체를 각도 α 경사시켜, 그 경사 전후의 인코더 시스템 (62A, 62C) 의 계측값과 각도 α 의 정보에 기초하여, XY 평면 내에 있어서의 이동체의 위치 제어의 기준이 되는 기준면 (예를 들어, 투영 광학계의 이미지면) 에 대한 그레이팅 표면의 아베 이탈량를 산출한다. 그리고, 제어 장치는, 인코더 시스템에 의해 계측된 XY 평면 내에 있어서의 이동체의 위치 정보와, 그레이팅 표면의 아베 이탈량에서 기인하는 XY 평면에 대한 이동체의 경사각에 따른 인코더 시스템의 계측 오차에 기초하여 XY 평면을 따라 이동체를 구동시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167006822
첨부파일

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