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성막 마스크 및 그의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
출원번호	10-2016-7006834
출원일자	2016-03-15
공개번호	20160623
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 기판에 성막되는 박막 패턴에 대응하여 복수의 개구 패턴(4)을 형성한 수지제의 필름(5) 및 상기 필름(5)의 하나의 면(5a)에서, 상기 복수의 개구 패턴(4)이 형성된 유효 영역 내에 형성되어, 상기 복수의 개구 패턴(4) 중에서, 적어도 하나의 개구 패턴(4)을 내포하는 크기의 관통공(6)을 형성한 자성 금속 박막(7)을 구비한 마스크 시트(1)와, 상기 마스크 시트(1)의 상기 자성 금속 박막(7)측에 상기 마스크 시트(1)와 분리 독립하여 설치되고, 상기 자성 금속 박막(7)을 내포하는 크기의 개구부(9)를 형성한 자성 금속 부재의 메탈 마스크(2)를 구비하여 구성되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167006834
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