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비접촉식 물리 에칭시스템

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기관명	NDSL
출원인	자브트롯 이노베이션 코퍼레이션
출원번호	10-2015-0038685
출원일자	2015-03-20
공개번호	20151029
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 비접촉식 물리 에칭시스템에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 상기 비접촉식 물리 에칭시스템은 작업 챔버, 속이 빈 챔버, 작업기체 공급장치, 플라즈마 발생장치, 제1 차폐마스크, 캐리어로 구성되어 있으며, 본 발명인 비접촉식 물리 에칭시스템은 종래의 습식 에칭 설비과 건식 에칭 설비와는 다르게 타겟(에칭대기물)에 대해 사전에 어떠한 리소그래피 공정(lithography process)도 진행할 필요가 없이 제1 차폐마스크가 타겟에 대해 비접촉식 에칭 작업을 진행할 수 있고, 이러한 비접촉식 에칭 작업을 진행하는 과정에서 제1 차폐마스크 표면에 생성된 자발 경계 전기장의 작용을 이용하고 더 나아가 속이 빈 챔버 내로 주입되는 플라즈마는 상기 제1 차폐마스크 상의 최소한 하나 이상의 제1홀을 관통하여 캐리어 상의 타겟에 충격을 가하게 되고 이어서 순물리 방식으로 타겟을 에칭 혹은 커팅하게 된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150038685
첨부파일

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