| 초록 |
본 발명은 가스센서, 바이오센서, 배터리·커패시터, 연료전지, 태양전지, 화학촉매, 항균필터 등에 활용되는 3차원 개방형 네트워크 구조의 금속 다공성 박막(3 dimensional open-structure network porous thin film)에 관한 것으로서, meso pore를 지니는 3차원 개방형 네트워크 구조의 금속 다공성 박막 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 즉, 본 발명은 3차원 개방형 네트워크 구조의 금속 다공성 박막(3 dimensional open-structure network porous thin film)의 제조방법에 있어서, 3차원 개방형 네트워크 구조의 금속 다공성 박막 증착 챔버(chamber)(100)에 기판(200)을 고정시키고, 진공 상태를 만들어주는 단계(s100); 진공 상태의 챔버에에 불활성 기체를 주입하여 일정한 압력을 만들어주는 단계(s200); 기판의 온도를 등온(等溫)으로 유지하는 단계(s300); iv) 열증착(Thermal evaporation)공정으로서 금속 시료가 담긴 증발원(蒸發源)의 온도를 높여 금속 증기를 형성하는 단계(s400); 증발된 금속 증기가 기판 위에 증착되는 단계(s500)를 포함하는 다공성 박막의 제조방법을 제공한다. |
