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3차원 그래핀 소자의 제작 방법 및 이를 포함한 센서

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기관명	NDSL
출원인	성균관대학교산학협력단
출원번호	10-2013-0097958
출원일자	2013-08-19
공개번호	20140912
공개일자	2014-09-02
등록번호	10-1437289-0000
등록일자	2014-08-27
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 3차원 마이크로 구조체 상에 그래핀을 형성하여 3차원적 그래핀 소자를 형성하는 방법과 1차원 나노소재 (나노선, 나노튜브), 0차원 나노소재 (나노입자, 양자점)의 결합을 포함하며, 이를 이용한 화학/바이오 센서와 같은 전자 소자의 제작 방법에 관한 것이다. 3차원 마이크로 구조체는 광감성 폴리머의 선택적인 노광 기술에 의해 제작 가능하며, 그래핀을 포함하는 2차원 소재의 흡착에 의한 3차원 구조체의 형성은 산화막 형성 및 자기조립단분자층 형성에 의해 가능하다. 3차원 그래핀 구조체 상에 0차원 나노소재와 1차원 나노소재를 형성하는 제작 방법을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130097958
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