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화학적 기상 증착을 위한 페로플루이드 밀봉부를 갖는 회전 디스크 리액터

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기관명	NDSL
출원인	비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7003464
출원일자	2016-02-05
공개번호	20160303
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	화학적 기상 증착을 위한 회전 디스크 리액터는, 진공 챔버, 및 모터 샤프트를 진공 챔버 내로 통과시키는, 상측 페로플루이드 밀봉부와 하측 페로플루이드 밀봉부를 포함하는 페로플루이드 피드스루를 포함한다.모터는, 모터 샤프트에 결합되고, 상측 및 하측 페로플루이드 밀봉부들 사이의 대기 영역에 위치한다.턴테이블은, 진공 챔버 내에 위치하며, 모터가 턴테이블을 소망 회전 속도에서 회전시키도록 모터 샤프트에 결합된다.유전 지지부는, 턴테이블이 샤프트에 의해 구동되면 유전 지지부를 회전시키도록 턴테이블에 결합된다.기판 캐리어는 화학적 기상 증착 처리를 위해 진공 챔버 내에서 유전 지지부 상에 위치한다.기판 캐리어의 온도를 화학적 기상 증착을 위한 소망 온도로 제어하는 가열기는 기판 캐리어에 근접하여 위치한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003464
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